日前，我国集成电路生产领域已经基本实现了核心装备国产化。背景经济开发区集成电路厂商中芯国际目前已经运用过国产设备进行晶圆加工，并突破一千万片次。这意味着我国自主研发的设备在集成电路生产中得到了验证，国产设备的市场竞争力与技术实力将会进一步得到认可，我国电子专用设备产业的整体实力也有望得到大幅提升。

以中芯国际的集成电路生产线为例，其工艺制造需要较高的精度与复杂程度，尤其是芯片生产方面，需要电子、机械、软件、材料与控制等多个学科的相互配合，因此具有较高的技术含量。而相关的技术，尤其是离子注入、光刻、薄膜、氧化机等设备，其关键技术都掌握在欧美等少数公司手中。但是如今，经过几年的发展，一些国产的电子专用设备正逐渐向我国集成电路生产领域覆盖。

可以说，我国电子信息产业发展的基础是各类电子专用设备。在全球制造业向我国转移的过程中，电子信息产业目前已经得到了较为长足的进步。并且，电子专用设备也相应得保持了较高的增长速度。

尽管当下产业在我国已经取得了较大的发展成绩，但是总体来看，目前产业规模依旧较小，自主创新的能力有待提高，在高端设备开发方面相对来说还是较为落后。另外，由于我国本土电子专用设备企业的实力不强，造成一些产品虽然具有较高性价比，但是由于可靠性差，导致市场占有率较低。

再者，电子专用设备生产环节来说，由于产品与后续的制造工艺紧密相关，因此其装备制造水平也严重影响了下游产品的质量。但是当下由于我国电子专用设备开发并没有与下游电子产品的制造环节形成联动，间接地也影响了技术成果的转化。

总体来看，我国电子专用设备产业的发展水平仍旧较为落后，与发达国家相比存在一定的差距，而且，不少关键设备仍旧需要进口。

因此，面对这种状况，工信部也专门引发了《电子专用设备产业规划》，对产业发展提出了集中力量土坯、开发具有市场竞争力、满足国家重大战略需求的关键产品，并推动产品进入生产线，提升市场自给率的措施。